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    WS-650Mz-23NPPB 匀胶机 旋涂仪

    • 型号
      WS-650Mz-23NPPB
    • 品牌
      Laurell
    • 产地
      美国
    • 原价
      70000
    • 查看次数
      1069
    • 添加时间
      2021年08月23日
    • 购买数量:
    • 价格
      70,000.00元
    0

    匀胶机(英文名:Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜
      详细介绍:匀胶机(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
      行业俗称:匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

    一、产品概述:

    匀胶机WS-650Mz-23NPPB适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保障半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是650S 型匀胶机的特点。

    二、匀胶机工作原理:
     匀胶机WS-650Mz-23NPPBspin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

    三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标:
       1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);

       2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的转接托盘);

    3、转动速度:0-12,000rpm

    4、旋涂加速度:0-30000rpm/sec(空载);

    5、马达旋涂转速:稳定性能误差 < ±1%

    6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm

    7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step   0.1 精度;

    8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;

    9、高精度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%

    10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;

    11、分辨率:分辨率小于0.5/分,可重复性小于±0.5/分;
    12、配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;

    13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;

    14、进口水平测试仪;