KW-4E 加热型匀胶机 旋涂仪

英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称：旋涂仪、旋涂机、甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机。

KW系列匀胶机适应于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。该产品具有转速稳定和启动迅速等优点，半导体材料中涂胶厚度的一致性和均匀性。通常配无油真空泵一起使用。

产品特色 

· PTFE 高分子腔室材料，耐酸碱、防腐蚀，带弧度腔底方便胶液导出； 

· 具有腔室内废气抽、排功能； 

· 可气体加热烘胶，温度范围：0-200℃，加热、冷却速度 100℃/S； 

· 正、反转旋涂方向可自由切换； 

· 速度上升曲线实时显示； 

· 具有电机进胶报警及保护功能； 

· 具有基片吸附力不足报警及互锁功能 

· 带USB，RS485，蓝牙通信功能，配套 KW 高端系列匀胶机PC 端控制软件。

性能参数 

· 8 寸触摸屏、BAMBOO 触控笔，图形化界面操作方便； 

· 匀胶机功率 650W，匀胶均匀性±1%，机械泵功率 350W，抽速≥60L/MIN； 

· 转速范围：1-12000RPM，转速分辨率：1RPM，转速稳定度：±0.1%； 

· 加减速度可调范围：1-10000 RPM/S； 

· 可设置N 组15 段转速程序，存储 N 组数据，每段时间N（N 任意）。

· 宽电压适用： 100-250VAC 单相电输入；

· 外型尺寸：340mm（W）×500mm（D）×250mm（H）；

· 产品质量：匀胶机 18 KG，机械泵 9KG。 

· 适用基片：Φ5-Φ200mm 圆片及方片。